四甲基氫(qing)氧化(hua)銨(TMAH)溶(rong)液，在晶片(pian)生產(chan)中用作CMP(化(hua)學(xue)機械拋光(guang))預清洗劑，或(huo)在半導體(ti)領域(yu)的(de)光(guang)刻工藝中作為(wei)顯影劑。為(wei)了*潤濕晶片(pian)表面(mian)，通常會在TMAH溶(rong)液中加入(ru)表面(mian)活性劑以降(jiang)低其表面(mian)張力。確保一個穩定且不與表面(mian)幾何形狀相(xiang)關的(de)蝕(shi)刻過(guo)程。
動(dong)態表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)(隨時間(jian)(jian)變化的(de)(de)潤濕(shi)行(xing)(xing)為(wei))對涂層的(de)(de)均勻性和一致(zhi)性有著非(fei)常重(zhong)要的(de)(de)影響，靜(jing)(jing)態測量(liang)法如吊片和拉環的(de)(de)方(fang)法并不適用(yong)于(yu)(yu)這(zhe)類問題的(de)(de)分析，因為(wei)他們測量(liang)的(de)(de)是(shi)靜(jing)(jing)態表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)而非(fei)動(dong)態表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)。此外，使用(yong)靜(jing)(jing)態法測量(liang)后，必須(xu)對測試設備進行(xing)(xing)非(fei)常復雜的(de)(de)清(qing)洗，這(zhe)會(hui)耗費(fei)大(da)量(liang)的(de)(de)時間(jian)(jian)。德國SITA公司(si)根據不同(tong)的(de)(de)應用(yong)領(ling)域，提供不同(tong)的(de)(de)解決方(fang)案以(yi)檢測槽(cao)液配方(fang)的(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)。基于(yu)(yu)創新的(de)(de)氣泡壓力(li)(li)法，SITA表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)儀(yi)可以(yi)、快速的(de)(de)測量(liang)動(dong)態表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li)，從動(dong)態到準(zhun)靜(jing)(jing)態的(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)(mian)張(zhang)力(li)(li) 。
SITA DynoTester是一個非常靈活、輕便的(de)(de)手持式表(biao)面張(zhang)力測(ce)試儀，非常適用于(yu)工藝過程(cheng)中質量(liang)的(de)(de)監(jian)控，可進行現場測(ce)量(liang)，測(ce)試時間短，測(ce)試結果能(neng)(neng)立(li)即(ji)與所需值作對比。因此，SITA DynoTester 可對TMAH溶液的(de)(de)潤(run)濕性能(neng)(neng)進行簡(jian)便快捷的(de)(de)分析。操作簡(jian)單，無(wu)需任何專業經(jing)驗，儀器(qi)的(de)(de)所有功能(neng)(neng)都可通(tong)過儀器(qi)上的(de)(de)按鍵實現。
對于高要求的(de)TMAH溶液，以及需對檢(jian)測(ce)(ce)結果進(jin)行連續(xu)監控(kong)的(de)情況(kuang)，SITA 公司推薦(jian)使用過程監控(kong)系統--SITA Clean Line ST。這一(yi)系統直接集(ji)成在(zai)工藝過程中，定期測(ce)(ce)量表(biao)面張力，并在(zai)設定的(de)范圍內自動(dong)比(bi)較數據(ju)，因此我們可在(zai)表(biao)
面(mian)活性劑(ji)濃度超出限定值后，在(zai)短時間內采取(qu)相(xiang)關處(chu)理措施。設備至少(shao)可以(yi)儲(chu)存一整(zheng)年(nian)的測試數據，如果(guo)需要進(jin)行長期(qi)數據存儲(chu)，則可以(yi)通過USB 端口(kou)將數據傳輸到(dao)計算機。 SITA的表(biao)面(mian)張(zhang)力儀可以(yi)可靠(kao)的監控槽液的質(zhi)量(liang)，為研發(fa)和(he)清洗工(gong)藝(yi)過程建立良好(hao)的基礎進(jin)而獲(huo)得(de)高(gao)質(zhi)量(liang)結(jie)果(guo)。此外(wai)，表(biao)面(mian)張(zhang)力檢測還能避免過量(liang)使用表(biao)面(mian)活性劑(ji)，從而降低(di)生產成本(ben)。
SITA Dynotester 表面張(zhang)力儀
